第十八章 制版

    第十八章制版

    北美旧金山国际智能化公司内，新装修的办公室宽敞而明亮，一排排的办公桌井然有序的安放好，此时还没有太多的工作人员，所以显的有那么一点空旷。

    此时在二楼原先的老富兰克林的办公室内只有迪尔博士、张亿诚和老富兰克林三人，尽管现在的天气已经很热，但是对自律非常强的三人来说依然一身职业化的西装、皮鞋加衬衣领带的装束，当然外面的空调在毫不停歇的呼呼呼的把室内的影响人情绪的闷热往外抽走。

    “亲爱的布鲁斯，现在可以把你的宝贝芯片设计方案拿出来了，我们下一步要开始建立我们的流水线了，你可能不太明白，要想我们的产品顺利的走下生产线，我需要你设计的芯片的各个设计参数，他包括设计用的层次定义、设计规则、晶体管、电阻、电容等元件和通孔、焊盘等基本结构的版图，还有与设计工具关联的设计规则检查、参数提取和版图电路对照用的文件，我想这些你应该已经准备好了。”

    “是的博士，这些文件我都已经全部准备好了，边说边从旁边的从自己家搬来的保险柜里取出来一个公文包，打开公文包里面的文件整齐的以一个目录一个目录的钉在一起放着。

    迪尔博士看到眼前这个年轻人如此的年轻却工作如此的有条理且勤奋和认真，也让他有些惊讶和佩服，他想不出他对于工作为什么如此的执着和老到，想想自己在他这个年轻的时候大概、也许、可能还在为能从高中毕业远离父母而沾沾自喜，或者在酒吧和朋友HAPPY或者想着和那个女孩约会，而眼前这个年轻人生活中似乎除了工作和研究几乎没有别的节目。“真的是个让人敬佩的可爱的小家伙。”迪尔博士心里暗自嘀咕了一句。

    “我们要想生产出达到要求而合格的芯片产品，我们首先必须进行一项非常重要的工作：制版”迪尔博士现在有些欣赏这个年轻人了，好为人师的他所以准备教教眼前这个优秀的年轻人。当然这是在自己和自己的小杰克好朋友的眼中。看了眼张亿诚，看到张亿诚在聚精会神的听着自己的说话，迪尔接着说道：“制版就是要产生一套分层的版图掩模，为将来我们进行图形转移，也就是即将设计的版图转移到晶圆上去做好准备，这就像做衣服，首先做一个模型后面的全都照着这个模型生产一样，自然过程不会一样，但是原理是一个意思。”

    迪尔博士边说把一张很大的白纸，规格应该达到了50CM×50CM，铺在平整而光洁的会议桌上，把自己从张亿诚的设计图纸中提取的参数版图按照比例画在这张巨大的纸上，一层掩模画一种图案，迪尔博士在一丝不苟的画来画去，不时的喊张亿诚和老富兰克林帮忙拿一下工具或者读接下来的参数是多少，尽管空调在好不停歇的工作着，但是迪尔博士依然渐渐的额头开始冒汗，细密的汗珠几乎快布满了他的前额。张亿诚连忙递过去一张扭干了水的湿毛巾。擦干了汗水又继续开始忙碌起来。虽然在前世张亿诚在芯片企业呆过一段时间但是他除了知道大致的流程外，具体的细节自己还真不清楚，当时自己在的智能化研究所开发的自己需要的芯片基本上都是直接拿到芯片代工厂直接流片出来，生产过程基本不参与。

    迪尔博士的犹如艺术般的工作让张亿诚真是大开眼界，经过大约一个礼拜的反复加班加点的工作后，一副巨型图终于完成。这个时候迪尔博士又拿出了一个照相机，把照相机固定在支架上，同时把这副巨型图小心的固定在一块平整而光滑的正方形的铁板上，然后把铁板竖起装上一个可以前后左右上下调节的支架，经过反复的调整，终于迪尔博士确认此时的纸和水平面已经完全的成90度角，迪尔博士又在旁边开始调节他的照相机来确保拍出的照片正好是个正方形。

    “布鲁斯，这个过程看懂了吗？这个步骤叫做初缩，你要记住这个步骤千万不能出现一点儿的差错，不然当你流片生产时会发现全是次品。”迪尔博士边在那反复的调整还不忘提醒张亿诚。

    “是的，博士，真没想到这个过程是如此的复杂，我会谨记你的教诲的。”这也许就是精密工业的所谓差之毫厘繆以千里吧，张亿诚这样想到。

    终于迪尔博士觉得达到了理想的目的后按下了快门，然后迪尔博士又把初缩版装入另外一部步进重复照相机中，进一步的缩小，达到设计要求的尺寸，这个时候迪尔博士拿过一块早就准备好的铬板，一步一幅的印到铬板上，形成了一个阵列。

    “HI，我的小布鲁斯你认识我手上的这个东西吗？”迪尔举了举手上的铬板问道。

    “嗯，根据气味和表面的颜色应该是铬吧，下面的应该是石英玻璃。”张亿诚根据自己的判断说道。

    “是的，你很聪明，这确实是一块铬板也就是掩模，它是用石英玻璃做成的均匀平坦的拨片，表面上在涂一层600~800A厚的铬，使它的表面光洁度更高。”迪尔博士对于张亿诚能回答出他的提问感到很高兴，他觉的张亿诚是真真正正的学习，任何勤奋好学，而又积极上进的学生都是导师喜欢的。所以现在迪尔几乎由于杰克的关系而把张亿诚当成了自己的学生。“在这种接触式曝光方法中，掩模和晶圆尺寸相同，不过晶圆是圆的，而掩模是方的”博士边做着手边上的工作还一边不忘提醒张亿诚。

    “其实这种方法是有很多弊端，我以前在德仪的时候就在研究如何改进制版的工艺，不过还没等我研究出更好的方法，我就选择了退休，这次如果不是杰克的大力推荐我想我现在可能还在家里陪着家人。”说道这里迪尔博士笑了起来。然后又接着说“让我和你说说这种方法的弊端，一，图画在纸上，因为热胀冷缩、受潮起皱、铺不平等会很容易引起失真；二，初缩时，照相机会有失真；三，步进重复照相时，同样有失真；四，从掩模到晶圆上城乡，还有失真。所以到现在每一块芯片上集成的晶体管也才几万个，如果更多，以目前的这种工艺几乎不可能了。”说完，迪尔博士还叹了一口气，也许是在为自己在工艺上没有取得更大突破而遗憾吧。

    今天就这些吧，实在撑不住了，一天六千多字对我实在是个大挑战。

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